专利名称：多晶硅薄膜的制备方法以及光电器件
专利(申请)号：ZL201611227126.8
申请日期：2016-12-27 00:00:00
授权日期：2020-01-17 00:00:00
第一发明人：芦子玉
其他发明人：芦子玉; 邬苏东; 叶继春; 高平奇; 丁丽
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所