专利名称：一种金属掺杂非晶碳薄膜温度传感元件及其制备方法
专利(申请)号：ZL201510604847.5
申请日期：2015-09-21 00:00:00
授权日期：2018-01-30 00:00:00
第一发明人：汪爱英
其他发明人：汪爱英; 郭鹏; 柯培玲; 张栋; 陈仁德; 郑贺
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所