一种阴极电弧源
专利名称:一种阴极电弧源
专利(申请)号:ZL201510395575.2
申请日期:2015-07-03 00:00:00
授权日期:2018-05-04 00:00:00
第一发明人:陈仁德
其他发明人:陈仁德; 汪爱英; 张栋; 柯培玲; 王丽
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
专利(申请)号:ZL201510395575.2
申请日期:2015-07-03 00:00:00
授权日期:2018-05-04 00:00:00
第一发明人:陈仁德
其他发明人:陈仁德; 汪爱英; 张栋; 柯培玲; 王丽
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所