专利名称：一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法
专利(申请)号：ZL201510292141.X
申请日期：2015-05-30 00:00:00
授权日期：2018-07-06 00:00:00
第一发明人：孙丽丽
其他发明人：孙丽丽; 汪爱英; 李晓伟; 徐胜; 王骏; 郭鹏
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所