专利名称：电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备
专利(申请)号：ZL201510259687.5
申请日期：2015-05-20 00:00:00
授权日期：2017-01-18 00:00:00
第一发明人：邬苏东
其他发明人：邬苏东; 叶继春; 高平奇; 杨映虎; 韩灿; 张胜
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所