专利名称：衬底温度的控制方法、装置及薄膜沉积设备
专利(申请)号：ZL201510260343.6
申请日期：2015-05-20 00:00:00
授权日期：2017-11-24 00:00:00
第一发明人：叶继春
其他发明人：叶继春; 韩灿; 邬苏东; 高平奇; 杨映虎; 张胜
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所