专利名称：真空镀膜腔体中的三轴转基架装置
专利(申请)号：ZL201510178279.7
申请日期：2015-04-15 00:00:00
授权日期：2017-07-21 00:00:00
第一发明人：张栋
其他发明人：张栋; 汪爱英; 陈仁德; 许辉; 柯培玲
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所