专利名称：精密加工装置及其控制方法
专利(申请)号：ZL201410535514.7
申请日期：2014-10-11 00:00:00
授权日期：2017-02-01 00:00:00
第一发明人：赵飞
其他发明人：赵飞; 孙鹏; 张驰; 张杰
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所