中国科学院宁波材料技术与工程研究所

金属掺杂非晶碳压阻传感元件、其制备方法与调控方法

专利名称:金属掺杂非晶碳压阻传感元件、其制备方法与调控方法
专利(申请)号:ZL201410424861.2
申请日期:2014-08-26 00:00:00
授权日期:2017-10-03 00:00:00
第一发明人:汪爱英
其他发明人:汪爱英; 郭鹏; 李润伟; 张栋; 檀洪伟; 柯培玲
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所