专利名称：硅薄膜的制备方法
专利(申请)号：ZL201410419021.7
申请日期：2014-08-22 00:00:00
授权日期：2016-11-16 00:00:00
第一发明人：邬苏东
其他发明人：邬苏东; 叶继春; 高平奇; 杨映虎; 韩灿
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所