专利名称：一种简单快速的硅表面钝化方法
专利(申请)号：ZL201410389994.0
申请日期：2014-08-08 00:00:00
授权日期：2017-08-25 00:00:00
第一发明人：叶继春
其他发明人：叶继春; 高平奇; 盛江; 范科; 韩灿
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所