专利名称：一种氮化锌锡多晶薄膜的制备方法
专利(申请)号：ZL201410379727.5
申请日期：2014-08-04 00:00:00
授权日期：2017-01-11 00:00:00
第一发明人：梁凌燕
其他发明人：梁凌燕; 曹鸿涛; 邓福岭; 刘权; 李秀霞; 罗浩
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所