专利名称：一种超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法
专利(申请)号：ZL201310590933.6
申请日期：2013-11-21 00:00:00
授权日期：2015-12-09 00:00:00
第一发明人：杨晔
其他发明人：杨晔; 王木钦; 朱科; 黄金华; 兰品军; 宋伟杰
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所