专利名称：一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法
专利(申请)号：ZL201310574291.0
申请日期：2013-11-15 00:00:00
授权日期：2016-03-16 00:00:00
第一发明人：张栋
其他发明人：张栋; 汪爱英; 孙丽丽; 柯培玲
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所