专利名称：一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法
专利(申请)号：ZL201310375485.8
申请日期：2013-08-26 00:00:00
授权日期：2015-09-30 00:00:00
第一发明人：柯培玲
其他发明人：柯培玲; 王振玉; 张栋; 汪爱英; 谢仕芳
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所