专利名称：一种等离子体增强化学气相沉积设备
专利(申请)号：ZL201220455211.0
申请日期：2012-09-07 00:00:00
授权日期：2013-04-24 00:00:00
第一发明人：葛芳芳
其他发明人：葛芳芳; 李艳玲; 黄峰
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所