中国科学院宁波材料技术与工程研究所

一种SiO2减反射薄膜及其制备方法

专利名称:一种SiO2减反射薄膜及其制备方法
专利(申请)号:ZL201210097416.0
申请日期:2012-04-01 00:00:00
授权日期:2013-12-25 00:00:00
第一发明人:宋伟杰
其他发明人:宋伟杰; 兰品军; 李佳; 鲁越晖; 杨晔; 谭瑞琴
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所