中国科学院宁波材料技术与工程研究所

一种无结薄膜晶体管的制作方法

专利名称:一种无结薄膜晶体管的制作方法
专利(申请)号:ZL201210077194.6
申请日期:2012-03-21 00:00:00
授权日期:2014-09-03 00:00:00
第一发明人:万青
其他发明人:万青; 竺立强; 张洪亮
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所