专利名称：一种氧化锌基溅射靶材的制备方法
专利(申请)号：ZL201010166497.6
申请日期：2010-05-07 00:00:00
授权日期：2011-09-21 00:00:00
第一发明人：杨晔
其他发明人：杨晔; 宋伟杰; 张宇龙; 魏铁锋; 张贤鹏; 谭瑞琴
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所