专利名称：阴极真空电弧源薄膜沉积装置
专利(申请)号：ZL201020144810.1
申请日期：2010-03-25 00:00:00
授权日期：2010-12-01 00:00:00
第一发明人：汪爱英
其他发明人：汪爱英; 李洪波; 柯培玲
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所