一种p型氧化亚锡沟道薄膜晶体管的制备方法
专利名称:一种p型氧化亚锡沟道薄膜晶体管的制备方法
专利(申请)号:ZL201010040097.0
申请日期:2010-01-20 00:00:00
授权日期:2011-12-14 00:00:00
第一发明人:曹鸿涛
其他发明人:曹鸿涛; 梁凌燕; 刘志敏
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
专利(申请)号:ZL201010040097.0
申请日期:2010-01-20 00:00:00
授权日期:2011-12-14 00:00:00
第一发明人:曹鸿涛
其他发明人:曹鸿涛; 梁凌燕; 刘志敏
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所