专利名称：一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的中温制备方法
专利(申请)号：ZL200910098518.2
申请日期：2009-05-14 00:00:00
授权日期：2012-09-05 00:00:00
第一发明人：杨晔
其他发明人：杨晔; 张宇龙; 赵俊华; 张贤鹏; 宋伟杰; 谭瑞琴; 崔平
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所