专利名称：一种纳米复合多层硬质薄膜制备方法
专利(申请)号：ZL200810162316.5
申请日期：2008-11-21 00:00:00
授权日期：2011-02-02 00:00:00
第一发明人：吕鹏辉
其他发明人：吕鹏辉; 方前锋; 倪浩明; 刘庆; 汪爱英
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所