专利名称：一种实现工件外表面均匀镀膜的磁控溅射装置及方法
专利(申请)号：ZL200810120011.8
申请日期：2008-07-21 00:00:00
授权日期：2011-04-27 00:00:00
第一发明人：宋振纶
其他发明人：宋振纶; 冒守栋; 李金龙; 孙科沸
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所