中国科学院宁波材料技术与工程研究所

一种用于表面防护的离子束辅助磁控溅射沉积方法

专利名称:一种用于表面防护的离子束辅助磁控溅射沉积方法
专利(申请)号:ZL200810120013.7
申请日期:2008-07-21 00:00:00
授权日期:2011-05-25 00:00:00
第一发明人:宋振纶
其他发明人:宋振纶; 李金龙; 孙科沸; 冒守栋
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所