近日，中国科学院宁波材料技术与工程研究所和宁波越摩半导体设备有限责任公司，在“创新引擎培育全国行”（首站·宁波）活动上正式签署合作协议。双方将围绕高端装备超精密运动控制领域，协同攻关半导体制造装备中工件台纳米级定位、多自由度协同运动控制等关键技术。

超精密运动控制系统决定半导体制造装备的纳米级定位与稳定运行，是名副其实的“精度心脏”。目前，该技术长期被荷兰、德日等国垄断。国产设备在定位精度、动态响应及多轴协同上差距明显，是半导体精密制造领域难啃的“硬骨头”之一。此次宁波材料所与宁波越摩半导体的合作，正是瞄准这一技术壁垒，力求在超精密控制上实现自主突破。

“创新引擎培育全国行”（首站·宁波），由工业和信息化部指导，宁波市科技局、宁波高新技术产业开发区管委会主办，宁波材料所及其下属平台浙江工研院发展有限公司受邀参会。宁波材料所始终秉持“一体两翼”发展思路，积极服务国家需求、赋能产业发展，尤其在做深做透科技创新和产业创新深度融合方面不断探索，努力打通从实验室到车间的“最后一公里”。

签约现场

（技术转移处）